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J-GLOBAL ID：200902126280425724   整理番号：93A0626637

Al-Pd合金の微細構造,機械応力,集合組織及びエレクトロマイグレーションの挙動

The Microstructure, Mechanical Stress, Texture, and Electromigration Behavior of Al-Pd Alloys.

著者 (3件)： RODBELL K P (IBM Research Division, NY) ,  KNORR D B (Rensselaer Polytechnic Inst., NY) ,  MIS J D (IBM Development Lab., NY)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 22  号： 6  ページ： 597-606  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細な0.5μ配線になってくると配線の合金組成,蒸着過程,製...

シソーラス用語： 微細構造 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Al ,  Pd合金 ,  微細構造 ,  応力 ,  集合組織 ,  エレクトロマイグレーション ,  挙動