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J-GLOBAL ID：200902126372828841   整理番号：01A0426379

MEMSの工業検査への応用

Applications of MEMS to industrial inspection.
著者 (1件)：
TAKEDA M

TAKEDA M について

(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)

Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN について


資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems について


巻： 14th  ページ： 182-191  発行年： 2001年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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各種の工業検査へのMEMSの応用を紹介した。MEMSの用途に...
シソーラス用語：
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*マイクロマシン

マイクロマシン について

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検査装置

検査装置 について


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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  工場設備管理 
(YA01087E)

工場設備管理 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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MEMS

MEMS について

, 
工業

工業 について

, 
検査

検査 について

, 
応用

応用 について


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