文献
J-GLOBAL ID:200902126842170724
整理番号:94A0075907
スケールとレーザ干渉計 2つの測定システムの性能と比較
Scales vs. Laser Interferometers Performance and Comparison of Two Measuring Systems.
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著者 (3件):
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資料名:
巻:
42
号:
2
ページ:
753-767
発行年:
1993年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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光学グレーティングスケールおよびHe-Neレーザ干渉計は共に...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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干渉測定と干渉計
, 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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