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J-GLOBAL ID：200902127044317593   整理番号：93A0628272

セルフバイアス電圧制御法の開発とイオンダメージ評価による有効性の実証

Development of controlling the self-bias voltage and its appraisal by means of estimating ion damages.

著者 (4件)： 青山秀剛 (群馬大 工) ,  大手丈夫 (群馬工高専) ,  後藤誠 (群馬職業訓練短大) ,  菅原実 (群馬大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 1  ページ： 4  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： セルフバイアス ,  電圧制御 ,  開発 ,  イオン ,  ダメージ ,  評価 ,  実証