文献

J-GLOBAL ID：200902127524925720   整理番号：98A0373119

自己集合単層島状構造を用いたSiO₂表面とSiO₂/Si界面の同時観察

Simultaneous Observation of SiO₂ Surface and SiO₂/Si Interface Using Self-Assembled-Monolayer Island.

著者 (3件)： KOMEDA T (Texas Instruments, Ibaraki, JPN) ,  NAMBA K (Texas Instruments, Ibaraki, JPN) ,  NISHIOKA Y (Texas Instruments, Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 37  号： 2B  ページ： L214-L217  発行年： 1998年02月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子的に平坦なSi(111)表面上のSiO<sub>2</s...

シソーラス用語： 自己組織系 ,...

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分類 (2件)： 金属-絶縁体-半導体構造  (BM03085X) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

引用文献 (19件)：

• 1) M. Suzuki, Y. Kudoh, Y. Homma and R. Kaneko: Appl. Phys. Lett. 58 (1991) 2225
• 2) Y. Homma, M. Tomita and T. Hayashi: Surf. Sci. 258 (1991) 147.
• 3) H. Watanabe, K. Fujita and M. Ichikawa: Surf. Sci. 385 (1997) L952.
• 4) Y. Homma, M. Suzuki and N. Yabumoto: J. Vac. Sci. & Technol. A <b>10</b> (1992) 2055
• 5) E. Rosencher, A. Straboni, S. Rigo and G. Amsel: Appl. Phys. Lett. 34 (1979) 254

タイトルに関連する用語 (7件)： 自己集合 ,  単層 ,  島状構造 ,  SiO2 ,  Si ,  界面 ,  観察