文献
J-GLOBAL ID：200902128159028192   整理番号：96A0383603

Miniature tilting mechanism using piezoelectric actuators.

著者 (3件)：
TAWARA S

TAWARA S について

(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)

Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN について

, 
GOTO T

GOTO T について

(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)

Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN について

, 
MITSUI K

MITSUI K について

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

Keio Univ., Yokohama, JPN について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 2593  ページ： 71-78  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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