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J-GLOBAL ID:200902128404213952   整理番号:98A0403514

マイクロエレクトロ機械システム(MEMS)と流体流れ

Micro-electro-mechanical-systems(MEMS) and fluid flows.
著者 (2件):
資料名:
巻: 30  ページ: 579-584,584(1)-584(2),585-612  発行年: 1998年 
JST資料番号: A0044A  ISSN: 0066-4189  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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超小型の変換器を信号の調整および処理回路に集積した標記MEM...
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分類 (1件):
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流体力学一般 
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