焦点合せしたレーザビーム加熱を用いたLSI故障解析

文献

J-GLOBAL ID：200902128612619210 整理番号：98A0067790

LSI failure analysis using focused laser beam heating.

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巻： 37 号： 12 ページ： 1841-1847 発行年： 1997年12月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

LSI相互接続診断用の三種類の故障解析法を述べた。一つはレー...

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固体デバイス計測・試験・信頼性 , レーザの応用

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