マグネトロンスパッタリングによって作製されたダイヤモンドに近い水素フリー非晶質炭素膜

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J-GLOBAL ID：200902128639693463 整理番号：96A0642927

マグネトロンスパッタリングによって作製されたダイヤモンドに近い水素フリー非晶質炭素膜

Hydrogen-free amorphous carbon films approaching diamond prepared by magnetron sputtering.

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資料名：
巻： 69 号： 2 ページ： 158-160 発行年： 1996年07月08日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

水素化されていない非晶質炭素膜を室温で高周波マグネトロンスパ...

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半導体薄膜

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