Pd/Mg薄膜からなる光読取り水素センサの分光エリプソメトリーによる研究

文献

J-GLOBAL ID：200902129307881041 整理番号：02A0082460

Study on Optically Readable Hydrogen Sensor Consisting of Pd/Mg Thin Films by Spectroscopic Ellipsometry.

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資料名：
巻： 216 ページ： 101-104 発行年： 2002年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

光読取り式の新型の水素ガスセンサを提案した。Pd薄膜で被覆し...

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光デバイス一般

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