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J-GLOBAL ID：200902129785564302   整理番号：96A0165691

Hall測定による化学蒸着ダイヤモンド膜の輸送特性に対する水素効果の研究

Study of the effect of hydrogen on transport properties in chemical vapor deposited diamond films by Hall measurements.

著者 (4件)： HAYASHI K (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN) ,  YAMANAKA S (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN) ,  OKUSHI H (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN) ,  KAJIMURA K (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 68  号： 3  ページ： 376-378  発行年： 1996年01月15日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVDで作製したダイヤモンドのホモエピタキシャル膜の表面領域...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学蒸着 ,  ダイヤモンド膜 ,  輸送特性 ,  水素 ,  研究