文献
J-GLOBAL ID：200902129828492360   整理番号：93A0732356

A Flexible Test Structure Evaluation System for Reliability Data Analysis.

著者 (3件)：
MORI M

MORI M について

(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)

NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN について

, 
KURIYAMA Y

KURIYAMA Y について

(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)

NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN について

, 
SHIONO N

SHIONO N について

(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)

NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN について


資料名：
Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures  (Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures)

Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures について


巻： 1993  ページ： 195-200  発行年： 1993年 
JST資料番号： T0991A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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