原子間力顕微鏡チップでの直接崩壊法によるマイクロレジストパターンの接着挙動の解析

文献

J-GLOBAL ID：200902130408208818 整理番号：99A0795871

Analysis of adhesion behavior of micro resist pattern by direct collapse method with atomic force microscope tip.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=99A0795871&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0795871&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0943A") }}

著者 (1件)：
資料名：
巻： 3677 号： Pt.2 ページ： 565-573 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

, , , , ,

前のページに戻る