超薄膜マイクロカンチレバーの機械的挙動

文献

J-GLOBAL ID：200902130762829447 整理番号：00A0663983

Mechanical behavior of ultrathin microcantilever.

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巻： A82 号： 1/3 ページ： 102-107 発行年： 2000年05月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

マイクロカンチレバーは高感度と高速応答性が特徴であり,広い応...

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計測機器一般

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