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J-GLOBAL ID：200902131175336612   整理番号：01A0749400

近接感知とクラック検出用のオンチップ渦電流センサ

On-chip eddy current sensor for proximity sensing and crack detection.

著者 (2件)： SADLER D J (Univ. Cincinnati, OH, USA) ,  AHN C H (Univ. Cincinnati, OH, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A91  号： 3  ページ： 340-345  発行年： 2001年07月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記デバイスは二個の平面コイルをガラス基板上に積み重ね,Ni...

シソーラス用語： 近接作用 ,...

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分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 感知 ,  クラック検出 ,  オンチップ ,  渦電流