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J-GLOBAL ID：200902131614221169   整理番号：98A0973667

イオンシャドー法によるSPM探針作製の試み

Trial of SPM probe manufacture by the ion shadow method.

著者 (7件)： 有田正志 (北大 工) ,  吉田将行 (北大 大学院) ,  武井竜太郎 (北大) ,  浜田弘一 (北大 工) ,  岡田亜紀良 (北大 工) ,  武笠幸一 (北大 工) ,  高橋平七郎 (北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1998  号： 秋季  ページ： 423  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (1件)：

• 吉岡. 日本金属学会報. 1995, 34, 769

タイトルに関連する用語 (6件)： イオン ,  シャドー ,  SPM ,  探針 ,  作製 ,  試み