p型SiCへのAl-Tiオーミックコンタクトの形態研究

文献

J-GLOBAL ID：200902131780433042 整理番号：02A0409432

Morphological study of the Al-Ti ohmic contact to p-type SiC.

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資料名：
巻： 46 号： 5 ページ： 689-693 発行年： 2002年05月
JST資料番号： H0225A ISSN： 0038-1101 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

走査型電子顕微鏡と原子間力顕微鏡を用いて,p型SiCへのアニ...

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半導体-金属接触

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