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J-GLOBAL ID：200902131863160528   整理番号：95A0125303

SiO2ガラス薄膜に埋め込まれたSi微結晶の光ルミネセンス

Photoluminescence of Si Microcrystals Embedded in SiO2 Glass Films.
著者 (4件)：
KOHNO K

KOHNO K について

(Hiroshima-Denki Inst. Technology, Hiroshima)

Hiroshima-Denki Inst. Technology, Hiroshima について

, 
OSAKA Y

OSAKA Y について

(Hiroshima-Denki Inst. Technology, Hiroshima)

Hiroshima-Denki Inst. Technology, Hiroshima について

, 
TOYOMURA F

TOYOMURA F について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima について

, 
KATAYAMA H

KATAYAMA H について

(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima)

Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers について


巻： 33  号： 12A  ページ： 6616-6622  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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rfマグネトロンスパッタリング法によりSi微結晶を標記薄膜に...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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光ルミネセンス

光ルミネセンス について

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分類 (1件)：
分類
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無機化合物のルミネセンス 
(BM08093J)

無機化合物のルミネセンス について

タイトルに関連する用語 (6件)：
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SiO2

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ガラス

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薄膜

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Si

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微結晶

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, 
光ルミネセンス

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