化学量論組成の酸化物ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタリングより作製したPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>膜の評価

BASIT N A; KIM H K

文献

J-GLOBAL ID：200902132262318163 整理番号：95A0746595

化学量論組成の酸化物ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタリングより作製したPb(Zr,Ti)O₃膜の評価

Crystallization of Pb(Zr,Ti)O₃ films prepared by radio frequency magnetron sputtering with a stoichiometric oxide target.

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巻： 13 号： 4 ページ： 2214-2220 発行年： 1995年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

蒸着中及び蒸着後アニール中に過剰のPbを添加せずに,高配向性...

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その他の無機化合物の薄膜 , 強誘電体,反強誘電体,強弾性

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化学量論組成の酸化物ターゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタリングより作製したPb(Zr,Ti)O3膜の評価

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