文献

J-GLOBAL ID：200902132570704678   整理番号：96A0236334

レーザ集束原子蒸着

Laser-Focused Atomic Deposition.

著者 (4件)： MCCLELLAND J J (National Inst. Standards and Technol., MD) ,  SCHOLTEN R E (National Inst. Standards and Technol., MD) ,  PALM E C (National Inst. Standards and Technol., MD) ,  CELOTTA R J (National Inst. Standards and Technol., MD)
資料名： Science  (Science)
巻： 262  号： 5135  ページ： 877-880  発行年： 1993年11月05日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 定在波レーザ場でCr原子を集束させて蒸着する方法で,0.4m...

シソーラス用語： ナノ構造 ,...
準シソーラス用語： レーザ集束原子蒸着 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0236334&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0078A") }}

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  集束 ,  原子 ,  蒸着