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J-GLOBAL ID：200902132836629863   整理番号：93A0978794

基板を通しての集積回路の電気的および熱的信号検出用のヘテロダイン干渉計

Heterodyn interferometer for the detection of electric and thermal signals in integrated circuits through the substrate.

著者 (3件)： GOLDSTEIN M (TU Muenchen, Garching, DEU) ,  SOELKNER G (Siemens AG, Muenchen, DEU) ,  GORNIK E (TU Muenchen, Garching, DEU)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 64  号： 10  ページ： 3009-3013  発行年： 1993年10月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積回路での電気信号に伴う電荷密度変調と温度変化の干渉測定検...

シソーラス用語： 集積回路 ,...

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分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積回路 ,  信号検出 ,  ヘテロダイン干渉計