イオンミキシングによるMo/Si及びTi/Si系のシリサイド形成

文献

J-GLOBAL ID：200902133184172676 整理番号：99A0173849

Formation of silicide such as Mo/Si and Ti/Si by ion mixing.

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資料名：
巻： 123rd ページ： 389 発行年： 1998年09月
JST資料番号： S0988A ISSN： 1342-5730 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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