Automatic visual inspection system for TFH (Thin Film magnetic Head) wafer using optical enhancement and image processing techniques.

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J-GLOBAL ID：200902133582158241 整理番号：93A0409496

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巻： 1771 ページ： 20-30 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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