文献
J-GLOBAL ID：200902133711789083 整理番号：96A0156803
エキシマレーザーの応用
Applications of Excimer Lasers.
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著者 (1件)：
永井治彦
永井治彦 について
名寄せID(JGPN) 201550000073391639 ですべてを検索
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(
三菱電機
)
三菱電機 について
名寄せID(JGON) 201551000096483992 ですべてを検索
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資料名：
レーザー研究 (レーザー学会誌)
レーザー研究 について
JST資料番号 X0335A ですべてを検索
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巻：
23
号：
12
ページ：
1038-1050
発行年：
1995年12月
JST資料番号：
X0335A
ISSN：
0387-0200
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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エキシマレーザとその広い範囲での応用をレビューした。技術の進...
シソーラス用語：
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引用文献 (21件)：
永井治彦. レ-ザ-熱加工と光化学加工. O plus E. 1990, 128, 87
BURNHAM, R. Appl. Phys. Lett. 1976, 28, 86
第5回超先端加工システム技術シンポジウム予稿集. 1994
GODARD, B. Eureka Excimer Laser Workshop/ERLANGEN. 1993
永石竜起. レ-ザ-研究. 1994, 22, 926
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タイトルに関連する用語 (2件)：
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