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J-GLOBAL ID：200902133722920947   整理番号：02A0335799

金属アルコキシドからの酸化物還元法によるInSb膜の合成

Synthesis of InSb Films by Reduction of Metal Alkoxide-Derived InSbO₄.

著者 (4件)： 佐藤功治 (成けい大 工) ,  大友良則 (成けい大 工) ,  川崎兼司 (成けい大 工) ,  尾崎義治 (成けい大 工)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 110  号： 1279  ページ： 173-179  発行年： 2002年03月01日 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： インジウムアンチモンエトキシドの加水分解生成物を還元熱処理し...

シソーラス用語： アルコラート ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： エタノール

引用文献 (16件)：

• FOOS, E. E. J. Clust Sci. 1999, 10, 121-131
• WELLS, R. L. J. Clust Sci. 1997, 8, 217-238
• NOMURA, R. J. Mater. Chem. 1994, 4, 51-54
• GRAHAM, R. M. Semicond. Sci. Technol. 1993, 8, 1797-1802
• SHIBASAKI, I. Oyo Buturi. 1998, 67, 289-293

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属アルコキシド ,  酸化物 ,  還元 ,  InSb