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J-GLOBAL ID：200902133928461043   整理番号：97A0318344

粘着力曲線の解釈に必要な,測定系の剛性と意味ある変位形状

Micromachine Technology. Stiffness of Measurement System and Significant Figures of Displacement which are Required to Interpret Adhesional Force Curves.

著者 (4件)： TAKAHASHI K (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  BURNHAM N A (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE) ,  POLLOCK H M (Lancaster Univ., Lancaster, GBR) ,  ONZAWA T (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E80-C  号： 2  ページ： 255-262  発行年： 1997年02月 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記について推論し,剛性と変位形状間の関係を議論した。表面力...

シソーラス用語： マイクロマシニング ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (31件)：

• BINNING, G. Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 930
• BURNHAM, N. A. J. Vac. Sci. Technol. A. 1991, 9, 2548
• HIRANO, M. Phys. Rev. B. 1990, 41, 11837
• TAKAHASHI, K. proc. of 11th ISAS space utilization symposium. 1994, 11, 242
• HERTZ, H. J. reine und angewandte Mathematik. 1882, 92, 156-171

タイトルに関連する用語 (6件)： 粘着力 ,  曲線 ,  測定系 ,  剛性 ,  意味 ,  変位