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J-GLOBAL ID：200902134342234958   整理番号：99A0974385

イオンビーム援用蒸着法による金薄膜の作製と評価

著者 (7件)： 村井健介 (大阪工技研) ,  松谷貴臣 (大阪工技研) ,  木内正人 (大阪工技研) ,  黒川裕之 (近畿大 理工) ,  中山たけ義 (近畿大 理工) ,  古市考次 (大阪電通大) ,  瀧川靖雄 (大阪電通大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 2  ページ： 496  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： イオンビーム ,  援用 ,  蒸着 ,  金薄膜 ,  作製 ,  評価