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J-GLOBAL ID:200902135338346705   整理番号:01A0238091

酸化物エッチプラズマプロセシング放電中の真空紫外スペクトルの絶対強度

Absolute intensities of the vacuum ultraviolet spectra in oxide etch plasma processing discharges.
著者 (5件):
資料名:
巻: 19  号:ページ: 45-55  発行年: 2001年01月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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プラズマ診断  ,  固体デバイス製造技術一般 
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