PZT薄膜を用いた微細加工圧電式力センサ

LEE C; ITOH T; SUGA T

文献

J-GLOBAL ID：200902135345279657 整理番号：96A0704511

PZT薄膜を用いた微細加工圧電式力センサ

Micromachined Piezoelectric Force Sensors Based on PZT Thin Films.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=96A0704511&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0704511&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0369A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 43 号： 4 ページ： 553-559 発行年： 1996年07月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

走査式力顕微鏡(SFM)用のPZT力センサの製造法について述...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0704511&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0369A") }}

顕微鏡法

, , , ,

前のページに戻る