プレーナマグネトロンスパッタリングにより堆積したGaN膜

文献

J-GLOBAL ID：200902135510422192 整理番号：02A0687153

GaN films deposited by planar magnetron sputtering.

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資料名：
巻： 66 号： 3/4 ページ： 233-237 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

RFプレーナマグネトロンスパッタリングにより,溶融石英基板上...

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半導体薄膜

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