角度分解XPSとAES 深さ分解能の限界と深さプロファイル復元法の特性の一般的な比較

文献

J-GLOBAL ID：200902135583909782 整理番号：95A0629535

Angle-resolved XPS and AES: depth-resolution limits and a general comparison of properties of depth-profile reconstruction methods.

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資料名：
巻： 73 号： 1 ページ： 25-52 発行年： 1995年05月31日
JST資料番号： D0266C ISSN： 0368-2048 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

標記分析法について報告されているデータ処理法を再検討した。角...

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電子分光スペクトル , その他の物理分析

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