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J-GLOBAL ID:200902135631641797   整理番号:99A0213971

水晶音叉を利用した力顕微法と形状測定用の高速力センサ

High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork.
著者 (1件):
資料名:
巻: 73  号: 26  ページ: 3956-3958  発行年: 1998年12月28日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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原子間力顕微鏡とプロフィルメータの主要な要素は力センサである...
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分類 (1件):
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 

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