(0001)炭化けい素基板中の研磨関連表面損傷の特性解析

QIAN W; SKOWRONSKI M; AUGUSTINE G; GLASS R C; HOBGOOD H MCD; HOPKINS R H

文献

J-GLOBAL ID：200902136102581815 整理番号：96A0127755

(0001)炭化けい素基板中の研磨関連表面損傷の特性解析

Characterization of Polishing-Related Surface Damage in (0001) Silicon Carbide Substrates.

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巻： 142 号： 12 ページ： 4290-4294 発行年： 1995年12月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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