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J-GLOBAL ID:200902136388156423   整理番号:93A0549297

Siイオン注入による半絶縁GaAs結晶の電気的活性に対するほう素の影響

Influence of Boron in Semi-insulating GaAs Crystals on Their Electrical Activation by Si-Ion Implantation.
著者 (4件):
資料名:
巻: 32  号: 5A  ページ: 1898-1901  発行年: 1993年05月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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As過剰融液からのLEC法で成長させた半絶縁GaAsに注入し...
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半導体の放射線による構造と物性の変化 

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