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J-GLOBAL ID：200902136903777762   整理番号：93A0661116

rfシランプラズマ蒸着実験における粒子先駆体としての負の水素化けい素イオンクラスタ

Negative hydrogenated silicon ion clusters as particle precursors in RF silane plasma deposition experiments.

著者 (4件)： HOWLING A A (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE) ,  SANSONNENS L (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE) ,  DORIER J-L (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE) ,  HOLLENSTEIN C (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 26  号： 6  ページ： 1003-1006  発行年： 1993年06月14日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質Si蒸着のrfシランプラズマ中において最大で16個のS...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R)

タイトルに関連する用語 (7件)： RF ,  シラン ,  プラズマ蒸着 ,  実験 ,  先駆体 ,  水素化けい素 ,  イオンクラスタ