文献

J-GLOBAL ID：200902137108551108   整理番号：95A0159526

微細放電加工の研究 (第3報) マイクロ機構の加工

Study on Micro-EDM. (3rd Report). Fabrication of Micro-mecancial Elements.

著者 (4件)： 河田耕一 (松下技研) ,  正木健 (松下電器産業) ,  佐藤健夫 (松下技研) ,  増沢隆久 (東大 生産技研)
資料名： 電気加工学会誌  (Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers)
巻： 28  号： 59  ページ： 1-10  発行年： 1994年11月 
JST資料番号： F0520B  ISSN： 0387-754X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ機構の試作・加工である。シリコンウエハ加工は微細放電...

シソーラス用語： 放電加工 ,...
準シソーラス用語： 微細放電加工

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0159526&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0520B") }}

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (7件)：

• 倉藤尚雄. 超硬合金の放電による微細加工. 電気加工学会誌. 1968, 2, 3, 1
• 増沢隆久. 微小エネルギRC放電加工における持続アーク発生機構. 電気加工学会誌. 1971, 5, 9, 35
• 増沢隆久. 小穴加工における放電加工の能率. 生産研究. 1976, 28, 11, 56
• 河田耕一. 微細放電加工の研究(第1報)-基本性能の実現-. 電気加工学会誌. 1994, 28, 57, 32-42
• MASUZAWA, T. Wire Electro-discharge Grinding for Micro Machining. Annals of the CIRP. 1985, 34, 1, 431

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細 ,  放電加工 ,  研究 ,  マイクロ