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J-GLOBAL ID：200902151164206955   整理番号：94A0686861

微細放電加工の研究 (第1報) 基本性能の実現

Study on Micro-EDM. (1st Report). Feasibility Study.

著者 (4件)： 河田耕一 (松下技研) ,  佐藤健夫 (松下技研) ,  正木健 (松下電器産業) ,  増沢隆久 (東大 生産技研)
資料名： 電気加工学会誌  (Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers)
巻： 28  号： 57  ページ： 32-42  発行年： 1994年04月 
JST資料番号： F0520B  ISSN： 0387-754X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロマシンの研究が各方面で盛になり半導体プロセスが脚光を...

シソーラス用語： 放電加工 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (7件)：

• 1) Long-Sheng Fan, et. al.: Pin Joint, Gears, Spring, Cranks and Other Novel Micro-Mechanical Structures, Technical Digest of TRANSDUCERS'87, (1987), 849.
• 2) L. S. Fan, Y. Tai and R. S. Muller: Integrated Movable Micromechanical Structures for Sensors and Actuators, IEEE Trans. on Electron Devices, 35, 6, (1988) 724.
• 3)「マイクロマシン技術による製品小型化・知能化辞典」, 産業調査会, (1992).
• 4) 丹羽真一郎: 血管内手術内視鏡開発の現状と未来, Micro Machine, 4, 1, (1991) 58-59.
• 5) 倉藤尚雄, 増沢隆久: 超硬合金の放電による微細加工, 電気加工学会誌, 2, 3, (1968) 1.

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細 ,  放電加工 ,  研究