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J-GLOBAL ID:200902137110226320   整理番号:93A0282146

BiSrCaCuO高Tc超伝導薄膜のための低サブミクロンパターニング処理

Lower-Submicron Patterning Process for BiSrCaCuO High-Tc Superconducting Thin Films.
著者 (5件):
資料名:
巻: 32  号: 1B  ページ: 685-688  発行年: 1993年01月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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非水溶性Br2溶液を使い,標記薄膜にイ...
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  Josephson接合・素子 
タイトルに関連する用語 (2件):
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