文献
J-GLOBAL ID：200902137122250900   整理番号：94A0130357

An Evaluation of Surface Finish and Flush-up Procedures for High Purity HCl Gas Distribution Systems.

著者 (4件)：
DUGUID R

DUGUID R について

(Millipore Corp., MA)

Millipore Corp., MA について

, 
CODER S

CODER S について

(Advanced Micro Devices, CA)

Advanced Micro Devices, CA について

, 
BINDER R

BINDER R について

(Novapure Corp., CT)

Novapure Corp., CT について

, 
HERTZLER B

HERTZLER B について

(Air Products and Chemicals, Inc., PA)

Air Products and Chemicals, Inc., PA について


資料名：
ASMC ’93 Proceedings  (ASMC '93 Proceedings)

ASMC ’93 Proceedings について


ページ： 204-210  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19940061  ISBN： 0-7803-1367-4  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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Up について

, 
HCl

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