原子層堆積による薄膜成長用の水晶微量天秤付き粘性流反応器

ELAM J W; GRONER M D; GEORGE S M

文献

J-GLOBAL ID：200902137173689117 整理番号：02A0682988

原子層堆積による薄膜成長用の水晶微量天秤付き粘性流反応器

Viscous flow reactor with quartz crystal microbalance for thin film growth by atomic layer deposition.

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巻： 73 号： 8 ページ： 2981-2987 発行年： 2002年08月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

不活性キャリアガスの粘性流を用いて反応ガスを試料基板上に輸送...

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薄膜成長技術・装置

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