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J-GLOBAL ID:200902137361600999   整理番号:02A0240439

無線周波数のマイクロ電気機械容量性スイッチ用のチタン酸バリウムストロンチウム薄膜

Barium-strontium-titanate thin films for application in radio-frequency-microelectromechanical capacitive switches.
著者 (5件):
資料名:
巻: 80  号:ページ: 1255-1257  発行年: 2002年02月18日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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MgOおよびAu/溶融石英基板上に室温で標記のアモルファスB...
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分類 (3件):
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圧電気,焦電気,エレクトレット  ,  圧電デバイス  ,  継電器・スイッチ 

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