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J-GLOBAL ID：200902137367955365   整理番号：98A0570416

高結晶性成長から非晶質成長への遷移における微結晶粒シリコンの構造特性

Structural properties of microcrystalline silicon in the transition from highly crystalline to amorphous growth.

著者 (6件)： HOUBEN L (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU) ,  LUYSBERG M (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU) ,  HAPKE P (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU) ,  CARIUS R (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU) ,  FINGER F (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU) ,  WAGNER H (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
資料名： Philosophical Magazine. A. Physics of Condensed Matter: Structure, Defects and Mechanical Properties  (Philosophical Magazine. A. Physics of Condensed Matter: Structure, Defects and Mechanical Properties)
巻： 77  号： 6  ページ： 1447-1460  発行年： 1998年06月 
JST資料番号： E0753B  ISSN： 0141-8610  CODEN： PMAADG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ増強化学蒸着によって作製した微結晶粒シリコン成長は蒸...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高結晶性 ,  成長 ,  非晶質 ,  遷移 ,  微結晶 ,  シリコン ,  構造特性