テトラキス(ジメチルアミド)チタン(IV)およびビス[N,N′-ビス(tert-ブチル)エチレンジアミド]チタン(IV)からのTiN<sub>x</sub>C<sub>y</sub>膜の蒸着に関するその場XPS研究

RUHL G; REHMET R; KNIZOVA M; MERICA R; VEPREK S

文献

J-GLOBAL ID：200902137403884208 整理番号：97A0207592

テトラキス(ジメチルアミド)チタン(IV)およびビス[N,N′-ビス(tert-ブチル)エチレンジアミド]チタン(IV)からのTiN_xC_y膜の蒸着に関するその場XPS研究

In Situ XPS Studies of the Deposition of TiN_xC_y Films from Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) and Bis[N,N′-bis(tert-butyl)ethylenediamido]titanium(IV).

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=97A0207592&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0207592&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0893A") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 8 号： 12 ページ： 2712-2720 発行年： 1996年12月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標題前記前駆体(TMT)を使って低圧OMCVD蒸着させ,その...

,...
,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0207592&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0893A") }}

塩 , その他の無機化合物の薄膜 , 第4族,第5族元素の錯体

, , , , , , , ,

前のページに戻る

テトラキス(ジメチルアミド)チタン(IV)およびビス[N,N′-ビス(tert-ブチル)エチレンジアミド]チタン(IV)からのTiNxCy膜の蒸着に関するその場XPS研究

テトラキス(ジメチルアミド)チタン(IV)およびビス[N,N′-ビス(tert-ブチル)エチレンジアミド]チタン(IV)からのTiN_xC_y膜の蒸着に関するその場XPS研究