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J-GLOBAL ID：200902137473517741   整理番号：01A0899828

静圧案内面を運動縮小機構として利用した超精密位置決めシステムの開発

Ultraprecision Positioning System using Aerostatic Guideway as Motion-Reduction Mechanism.

著者 (4件)： 水本洋 (鳥取大 工) ,  薮谷誠 (不二越) ,  上芳啓 (不二越) ,  有井士郎 (鳥取大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 9  ページ： 1524-1529  発行年： 2001年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密機械における位置決め装置はサブナノメータの位置決め分解能...

シソーラス用語： *位置決め装置 ,...
準シソーラス用語： 超精密位置決め

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分類 (1件)： 制御機器一般  (IC02010N)

引用文献 (14件)：

• Nanoform 600, Catalogue. 1989
• KAMI, Y. Research and development of an ultraprecision positioning system. Nanotechnology. 1995, 6, 127
• MIZUMOTO, H. An angstrompositioning system using a twist-roller friction drive. Precision Engineering. 1995, 17, 1, 57
• MIZUMOTO, H. A twist-roller friction drive for nanometer positioning. Annals of the CIRP. 1996, 45, 1, 501
• PATTERSON, S. R. Design and Testing of a Fast Tool Servo for Diamond Turning. Precision Engineering. 1985, 7, 3, 123

タイトルに関連する用語 (6件)： 静圧 ,  案内面 ,  運動 ,  縮小 ,  精密位置決め ,  開発