Reactive sputtering using two reactive gases, experiments and computer modeling.

CARLSSON P; NENDER C; BARANKOVA H; BERG S

文献

J-GLOBAL ID：200902137688637101 整理番号：93A0761715

Reactive sputtering using two reactive gases, experiments and computer modeling.

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巻： 11 号： 4 Pt 1 ページ： 1534-1539 発行年： 1993年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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