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J-GLOBAL ID：200902138384255675   整理番号：01A0068942

RFマグネトロンスパッタ法による炭素系薄膜の作製と評価

著者 (5件)： 藤本圭一 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  李けい毅 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  本多信一 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  片山光浩 (大阪大 大学院 工学研究科) ,  尾浦憲治郎 (大阪大 大学院 工学研究科)
資料名： 真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 41st  ページ： 45-46  発行年： 2000年10月25日 
JST資料番号： L1308A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノチューブ ,...
準シソーラス用語： 平板ディスプレイ

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： RFマグネトロンスパッタ法 ,  炭素 ,  薄膜 ,  作製 ,  評価