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J-GLOBAL ID：200902138391050370   整理番号：00A0992487

機上計測用縦型超精密触針式形状測定プローブの開発

著者 (8件)： 守安精 (理研) ,  森田晋也 (理研) ,  山形豊 (理研) ,  林偉民 (理研) ,  大森整 (理研) ,  牧野内昭武 (理研) ,  加藤純一 (理研) ,  山口一郎 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2000  号： 春季  ページ： 578  発行年： 2000年03月22日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (3件)：

• 守安. 機上計測用高精度小型触針式形状測定センサの開発. 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1999, 196
• 守安. 機上計測用小型触針式形状測定プローブの特性評価. 1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1999, 330
• SHIOZAWA, H. Development of an Ultra-Precision 3D-CMM with the Repeatability of Nanometer Order. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 360-365

タイトルに関連する用語 (6件)： 機上計測 ,  縦型 ,  超精密 ,  触針 ,  測定プローブ ,  開発