文献

J-GLOBAL ID：200902138626272693   整理番号：97A0857113

マイクロ波プラズマ化学気相成長による燃料電池用マグネシア安定化ジルコニア薄膜の作製

Preparation of Magnesia Stabilized Zirconia Thin Films for Solid Oxide Fuel Cell by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition.

著者 (5件)： 岡山英夫 (大阪工大 工) ,  久保吏 (大阪工大 工) ,  望月則孝 (大阪工大 工) ,  長田昭義 (大阪工大 工) ,  伊佐弘 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 40  号： 8  ページ： 660-663  発行年： 1997年08月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： PECVDで固体電解質型燃料電池の主材料であるジルコニア膜お...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： *固体燃料電池

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0857113&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0194A") }}

分類 (2件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (6件)：

• 電気学会燃料電池運転性調査専門委員会. 燃料電池発電. 1994
• 伊藤. 日本セラミックス協会学術論文誌. 1989, 97[10], 1077-1081
• 岡山. 電気学会論文誌B. 1996, 116, 12, 1549-1554
• 岡山. 電気学会プラズマ研究会資料. 1996, EP-96-17
• 岡山. 電気学会論文誌A. 1996, 116-A, 4, 380-381

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ波プラズマ ,  化学気相成長 ,  燃料電池 ,  マグネシア ,  安定化 ,  ジルコニア ,  薄膜 ,  作製