半導体製造装置供給者のためのソフトウェア技術

文献

J-GLOBAL ID：200902138660964740 整理番号：94A0168175

Software Engineering for Semiconductor Manufacturing Equipment Suppliers.

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著者 (2件)： ,
資料名：
巻： 15th ページ： 337-352 発行年： 1993年
JST資料番号： T0858A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ソフトウェア開発に関して,装置産業の置かれた状況を詳細に検証...

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固体デバイス一般 , 計算機システム開発

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