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J-GLOBAL ID:200902139383700078   整理番号:98A0041486

透明導電性ZnO膜の光原子層堆積

Photo atomic layer deposition of transparent conductive ZnO films.
著者 (6件):
資料名:
巻: 49  号: 1/4  ページ: 187-193  発行年: 1997年12月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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低抵抗率ZnO膜を光原子層堆積(光-ALD)技術により,反応...
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酸化物薄膜 
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